ドライ潤滑コーティング
初期馴染みコーティング
「半導体装置部品でのステンレスの焼き付きが発生」～ステンレスのナットの焼き付き防止を検討～
問題
半導体装置の部品であることからオイル、グリス等の油脂類が使用できない。組付け時の焼き付きを防止する必要がある
解決
装置側への表面処理が困難な事からナットに均一に二硫化モリブデンコートを処理行う。
耐焼き付き性、初期馴染み性に優れる個体潤滑剤である二硫化モリブデンの性能が発揮された。
問題解決のポイント
ステンレス同士の焼き付きの防止にはグリス等の油脂類が有効ではありますが半導体装置部品では使用ができない場合が多い。
この場合二硫化モリブデン、グラファイト、ＰＴＦＥ（テフロン）等の固体潤滑剤を含んだドライ潤滑コーティングが有効です
ステンレスのボルト、ナットの組付け時には焼き付きによるトラブルが発生しやく、二硫化モリブデンコーティングが採用されています。